适用于PCB生产行业，此外应用于处理大型及复杂结构的工件。
真空系统泵采用无油前级泵加罗茨泵泵组结构，即*抽速，又*腔体洁净度，同时无油泵例如爪式干泵易维护、噪声小、抽速快，相对于部分耐腐蚀的油泵来说，其维护以及运作成本大大降低，同时该泵是适合于强氧化气体及含氟离子的*环境下工作的，大大*泵体的寿命，罗茨泵的使用，是为在真空度低于1000帕时*抽速，使之更快*工作压强，既分担了单一泵体的工作压力，又*了效率。
自动控制系统，采用PLC进行*控制，性能稳定，功能*， 人机界面友好，采用12.1或10.4英寸触摸屏；或采用PC加显示器进行控制，可设定工艺过程参数，可对大量实时数据进行采集记录、打印，还具备*报警，配方储存，数据报表等强大功能，可用PID模式自动控制真空度、*板温度等。
供气系统，采用5路气体质量流量计，分别用来控制不同的气体，通过*的技术处理，使用户在计算机操作平台上可以方便的置入工艺生产中所需的气量。另外我们的供气管道采用了*的*抛光不锈钢管，内壁光滑、气阻小，气体的流量更加稳定*。
电*系统，该设计对等离子激发空间均匀性大大*，在同一平面上等离子刻蚀清洗的速率更加一致，控制电力参数由系统结构设计获得，并能很好的控制电*的温度均一性，总之，电*整套体系的结构及与之交互作用的参数的合时控制，使电*对等离子的可控性大大*。
竖直电*的设计加上工件架的配合使用，使不同板材的PCB可以方便、**地放于电*之间，使电*间空间利用率**大。
水平电*的设计可以根据现场需要调整电*板间距，以适用于不同外形尺寸的工件放置，灵活多样而又保持*的组合形式。*质量且*了效率。
根据不同的电*结构，我们设计、制造了多种不同的工件架，分别应用于硬纸板材和软质板。工件架的特点，装卸方便、**，*种规格板材的摆放，*了生产效率。工件架的设计结合了电*的结构，将电*之间的空间利用率**高。
尾气处理系统采用了水吸收HF的方式，并且在水中加入了弱碱进行中和反应，避免对环境造成二次污染。
效果实例:
由上图可见,经等离子处理后PCB上发黄的氧化层物质明显减
