MEIVAC真空电容器

规格

真空电容器 MEIVAC
MEIVAC真空电容器系列，是基于明电舍的真空技术而开发的一种真空电容器。
真空电容器有以下用途
1 作为半导体薄膜制造设备的阻*整合器
2 通信器材的发报线路，同调回路
3 诱电加热设备的共振回路
4 各种高频率电源的电压增幅回路

近年来，由于半导体产业的发展，真空电容器的用途扩大至CVD，蚀刻，滴溅设备等半导体薄膜制造设备阻*

整合应用领域。
真空可变电容器
真空可变电容器是通过移动真空容器内的电*而实现静电容量的变化的电容器。
除了了装置115MM标准的型号，还搭载了耐高压*电*的黄金型号，同时通过风箱构造以及增强材质的大电

流低扭矩型（H系列）。
标准型特点
1 寿命长
采用*度的不锈钢风箱，实现可变范围二分之一以下的风箱寿命达100万循环。同时通过*度*螺钉

构造，在可变范围二分之一的情况下实现总回转数1000万以上的长寿命。
2微型化
陶瓷中心栓与外围共振器一体化从而是微型化得以实现。
统一设为全长140MM（装置标准115MM），容易实现机器安装时的可更换性。