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供应压电陶瓷位移平台

地区：上海 上海市
认证： 无

上海求和精密机电有限公司

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外形图 (按第3角法绘制)

技术指标

型号 SFS-120XY(WA)
平台尺寸 120 x 120mm
孔径尺寸 50 x 50mm
驱动装置 压电陶瓷驱动件
小位移传感器 位移传感器
行程 100 ± 15%
分辨率 (理论开环) * 1nm
分辨率 (闭环) * 20nm
直线度 : Xy, Xz, Yx, Yz ≤ 1μm
重复定位精度 ≤ 0.1μm
承载能力 2kg
自重 1.2kg

*以上数据均为采用 FINE-503控制器时的值

型号/规格

SFS-120XY(WA)

品牌/商标

日本西格玛

主要用途

精密电子仪器仪表

*类别

普通型

安装方式

螺丝固定