物镜定位平台
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物镜定位平台
NM-XYZ-100A-Z15H是Z-15H与XY-100A组合,保持了10mm的孔,由Super Invar(超因瓦合金)制成。这样的组合提供了X,Y轴120微米的移动范围以及Z轴16微米的移动范围。
物镜定位平台应用领域
◆高精度显微镜、传送显微镜、光学捕获;
物镜定位平台主要特点
◆X,Y运动范围120微米,Z轴16微米;
◆三轴都有高于纳米级的精度和稳定性;
◆稳定的平台;
◆非常低的磁滞和线性误差<0.005%;
◆简单的操作,简易的图像校准;
◆现场扫描响应最优化;
◆长期稳定性;
◆特殊钢材外壳(Super Invar);
NM-XYZ-100A-Z15H
ZSY