电涡流式传感器

　　电涡流式传感器是一款专门为客户定制的OEM产品，可测非导磁体和铁磁材料，有1、2或3通道可配电涡流探头。拥有埃米级分辨率，符合CE和ROHS标准，尺寸小巧，并可配13种电涡流探头。同时材料、线性、分辨率、带宽各种性能可自行优化。

　　主要特点

　　◆尺寸小巧

　　◆埃米级分辨率

　　◆有1、2或3通道可配电涡流探头

　　◆可配13种电涡流探头

　　◆工作温度：0～70℃(补偿范围15～55℃)

　　◆符合CE和RoHS标准

　　◆输出负载电流<20mA(有短路和过载保护)

　　◆供电电压：15～30V，<50mA(有容错保护、短路保护)

　　应用领域

　　光学平台位置测量、半导体和光器件的研磨、半导体模板对齐系统、蒸镀系统、电子显微镜垂直轴定位、原子显微镜垂直轴定位、磁悬浮轴控制、部件研磨加工的精确定位、镜片控制、物质收缩测试测量、机械结构变形探测与测试。

　　其他信息补充：

　　1.被测体表面磁效应对传感器的影响

　　电涡流效应主要集中在被测体表面，如果由于加工过程中形成残磁效应，以及淬火不均匀、硬度不均匀、金相组织不均匀、结晶结构不均匀等都会影响传感器特性。在进行振动测量时，如果被测体表面残磁效应过大，会出现测量波形发生畸变。

　　2.被测体表面镀层对传感器的影响

　　被测体表面的镀层对传感器的影响相当于改变了被测体材料，视其镀层的材质、厚薄，传感器的灵敏度会略有变化。