纳米级差动电涡流传感器

　　埃米级高性能电涡流位移传感器

　　ZED51纳米级差动电涡流传感器的主要特点：每通道两个精确匹配的传感器使分辨率达到1nm；超耐热，长时间稳定：1.27x10-4mm/月或更好；有耐低温传感器；非常高的灵敏度，最高到394 mV/?m；低功耗：小于2W(±15 Vdc典型情况下)。

　　应用领域

　　差动测量：

　　两个精确匹配的传感器被放置在被测物平台两侧，这两个传感器组成了平衡桥电路相反的两端，这个结构提供了极好的线性和热稳定性，所以其输出准确地记录了线性的最微小移动。如激光反射镜聚焦平台定位。

　　低温应用：

　　20N传感器有一个专门的低温应用版本，它有一个内部伸缩接头，当用螺丝安装一个贝勒维尔垫圈后，可有效消除压力或温度引起的机械变性。已证明其在70°K的液态氮中有最优异的性能。好几个空间项目在4°K的液态氦环境中使用了此传感器。

　　真空应用：

　　传感器和ZED51的电子器件都已用在10-6托的真空应用中了。

　　超高精度宇航应用：

　　已制造出MIL-H-38534。所有电子器件均采用符合MIL-SPEC标准的。KD-5100在战斗环境下超过55,000小时，太空飞行环境下超过238,000小时。

　　小尺寸 (只有 2 x 2.12 x 0.75英寸) ，可应用于空间狭小的场合。

　　商业差动：

　　ZED52差分系统就是ZED51的一个商业版本。此系统大大减小了微分系统的成本，又保持了性能优势。在重量、大小和能耗没有特殊限定的情况下，这些差动系统是首选。

　　中继镜片激光定位（RME）：

　　RME演示了一束从地球发射到450公里轨道上人造卫星的激光可以被精确地反射到直径3米的目标地面。

　　ZED51被用于精确定位60cm的中继镜片，其精度高于试验目标的16倍，视线稳定度高2.3倍。

　　半导体圆晶片制造中的超高精确激光聚焦：

　　激光微注技术被用于开发半导体圆晶片制造中的"直接写入"应用和高吞吐量模板图案应用，而且还被融合进0.1微米工艺的产品中。ZED51就被应用到此技术中，精确控制激光的位置，完成超高精确位置、关键尺寸和对齐控制。

　　其它应用：精确望远镜定位、磁悬浮轴定位。