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两个*电涡流式传感器,接入电桥平衡电路。具有高分辨率、高灵敏度,使用于被测材料为铝、铜等导电材料;有单、双通道配置;
电涡流式传感器应用领域
应用于磁悬浮轴承定位、精密构件平衡、集成电路制造平台定位等。
电涡流式传感器主要特点
线性度:±0.1~1%;
量程:±0.25mm /±1.915mm;
频响: 0~22KHz;
埃米级分辨率;
高灵敏度,*高394mV/μm;
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