高效节能真空镀膜扩散泵电磁加热器应用

扩散泵作为真空系统的主泵已经有几十年的历史了，而扩散泵的加热方式迄今为止虽有N个变化方式却多不尽人意。最早的电阻丝加热方式一直沿用至今。虽有部分仁人志士对其做过N次改进，效果还是一般，仍然存在着：容易断丝，容易短路，等诸多可靠性低的易发故障。 

     电阻加热的第二代加热器，为电加热管的加热方式，而干烧的加热管最长的寿命为100天。

     电阻加热的第三代加热器，为圆饼式、扇形饼式。寿命比加热管稍长。但要求加热饼紧贴扩散泵底。这点用户很难做到。还有导线接入区域温度过高触电区域极易氧化虚接。虽经N次改进故障率仍居高难下。

电阻加热的第二代变种加热方式为电热管插入扩散泵内的加热方式。这种加热方式的优点是：加热速度快。然而缺点也极其明显：扩散泵内一旦缺油便引起加热管干烧，链锁反应造成炸管、炸套管、导致扩散泵泄漏、扩散泵油裂解、氧化、碳化失效。让用户苦不堪言。

  最为科学的加热方式，便是将电磁加热器的加热技术转化到扩散泵的加热上。这便带来了革命性的进步。

用这种方式加热的优点便是加热速度快。节能、炉子本身不热。炉子本身寿命长。故障率极低。

扩散泵电磁加热比电阻丝加热的优势：

（1）高效节能，比电阻丝加热节电40%以上。

（2) 加热速度快 ，加热均匀。

（3）运行稳定 控温精确

（4）安装快速 操作方便

（三）实验对比 ：一台直径820mm的扩散泵用15kw电阻丝加热60分钟左右，正常生产每小时耗电15-18度。用碧源达电磁加热节电装置每小时用电7-8度电。节电最少40%以上。温度可随意调节。操作方便，电磁加热方式给真空镀膜行业带来了福音。电磁加热是传统电阻丝加热最佳的节能加热装置。