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扩散泵作为真空系统的主泵已经有几十年的历史了,而扩散泵的加热方式迄今为止虽有N个变化方式却多不尽人意。最早的电阻丝加热方式一直沿用至今。虽有部分仁人志士对其做过N次改进,效果还是一般,仍然存在着:容易断丝,容易短路,等诸多可靠性低的易发故障。
电阻加热的第二代加热器,为电加热管的加热方式,而干烧的加热管最长的寿命为100天。
电阻加热的第三代加热器,为圆饼式、扇形饼式。寿命比加热管稍长。但要求加热饼紧贴扩散泵底。这点用户很难做到。还有导线接入区域温度过高触电区域极易氧化虚接。虽经N次改进故障率仍居高难下。
电阻加热的第二代变种加热方式为电热管插入扩散泵内的加热方式。这种加热方式的优点是:加热速度快。然而缺点也极其明显:扩散泵内一旦缺油便引起加热管干烧,链锁反应造成炸管、炸套管、导致扩散泵泄漏、扩散泵油裂解、氧化、碳化失效。让用户苦不堪言。
最为科学的加热方式,便是将电磁加热器的加热技术转化到扩散泵的加热上。这便带来了革命性的进步。
用这种方式加热的优点便是加热速度快。节能、炉子本身不热。炉子本身寿命长。故障率极低。
扩散泵电磁加热比电阻丝加热的优势:
(1)高效节能,比电阻丝加热节电40%以上。
(2) 加热速度快 ,加热均匀。
(3)运行稳定 控温精确
(4)安装快速 操作方便
(三)实验对比 :一台直径820mm的扩散泵用15kw电阻丝加热60分钟左右,正常生产每小时耗电15-18度。用碧源达电磁加热节电装置每小时用电7-8度电。节电最少40%以上。温度可随意调节。操作方便,电磁加热方式给真空镀膜行业带来了福音。电磁加热是传统电阻丝加热最佳的节能加热装置。
BYD
碧源达
0-600℃
2.5-120KW