5 PSI-D1-4V-MINI环保设备ALL sensors压力传感器5psi

  依据传感器的结构、所依赖的物理原理以及被测量的不同，对不同传感器提出不同的要求。概括起来，大致偶几个方面的要求：1.机械上是坚固的，不怕震动，不怕冲击；2.避免热应力对芯片的影响；3.电器上芯片与环境或大地是绝缘的或芯片与大地是电链接的；4.热链接（温度传感器）或尽可能与环境热隔离；5.电磁屏蔽的或非屏蔽的（磁传感器）；6.气密且耐水压力的（压力传感器）；7.光屏蔽的或聚光的（光电传感器）。

   硅压力传感器的微机械加工的发展，硅片的腐蚀工艺历史源远流长。早在60年代便出现硅片的化学抛光、腐蚀与减薄工艺。例如有White腐蚀液（HF：HNO3=1：3),用于硅片抛光。之后随著晶体中位错、层错的显示又有相应的腐蚀液，例如有Dash、Sietl、Secco、Wringht腐蚀液及其改进的排放。80年代严重影响硅单晶的漩涡缺陷受到人们重视，又出现以络酸和HF为基础的微缺陷显示液。此外还有显示晶向的各异性碱性腐蚀也（NaOH或KOH水溶液），以及显示晶体生长条纹的腐蚀液。

A6AAF	E1NS	E1ND	E1NJ
E2NS	E2ND	E2NJ	EGNS
EGNJ	EGNL	E1BS	E1BD
E2BS	E2BD	EGBS	EGBD
EGBJ	EGBL