CA-MN81基恩士原装视觉系统AV显示屏

CA-MN81基恩士原装视觉系统AV显示屏

LT-9000 系列表面扫描激光共焦位移计可用于检查在晶片上形成图案的蚀刻的进度。以 0.3 μm 的分辨率获得的测量数据可在显示器屏幕上显示为轮廓波形。蚀刻深度或表面轮廓都可以轻松测量得出。它采用了世界首创的高精度表面扫描方法，即便是潮湿目标也能精确测量。

Z 轴扫描: 对音叉运用共焦原理，实现高精度测量。 X 轴扫描: 振荡模块产生巨大的扫描区域。实现更高的测量稳定性。