静电卡盘电源ESC-5

输出电压范围：1kV–15kV?单输出和双极型?输入到输出隔离：>500MΩ?自动极性反转?自动放电?短路和开路保护。

可内置射频滤波?模拟/RS232/DeviceNet（可选）典型应用静电卡盘9.5“Wx3.25”Hx6.25“D约用于<5kV（241.3x82.6x158.8mm）9.5”Wx3.25英寸高x12.5英寸深。

适用于大于5kV的型号（241.3x82.6x317.5mm）19英寸宽x3.25”高x12.5”深，适用于15kV型号（482.6x82.6×317.5mm）。

型号：
ESC-1D
ESC-2
ESC-3
ESC-3D
ESC-4
ESC-5
ESC-HV10
ESC-HVXP