静电卡盘电源FP6294R1

静电高压电源ESC系列2电气规格说明规格浮动双极输出从任何高压输出端子到底盘接地的路径>50MΩ输出到输入的隔离>500MΩ基于标准5kV直流高压测试）

输出电压所有型号的输出电压可编程且连续可变输出限流输出限流可编程且所有型号上连续可变输出稳定性满输出的1%或更好输出纹波在>35kHz工作频率下小于0.5%输出电压线性在10%至100%输出范围内优于±1%输出极性反向打开命令或可编程自动。注：ESC-HV10不包括极性反转输出电压平衡匹配负载（双极装置）

输出安全放电继电器通过100kΩ电阻网络从高压输出到底盘接地的命令或可编程自动打开操作环境温度0至+40°C储存温度/湿度/空气压力0至+70°C湿度10-90%不冷凝射频过滤射频过滤包括在除ESCHVxx之外的所有型号上。

型号：
E-33/1
E-55/0
E-77/0
E-15/5
E-17/J
E-09/0
E-77/0
E-75/9
E-77/0
E-77/0
E-49/0
E-77/OS
E-43/0
E-15/0
E-15/4

E-17/A2