ADXL001-500BEZ 品牌ADI 封装PLCC8

ADXL001-500BEZ 品牌ADI 封装PLCC8

ADXL001-500BEZ加速度计采用全差分式传感器结构和电路路径， 对EMI/RFI干扰具有出色的抑制能力。 这是最新一代SOI MEMS器件，具有机械耦合但电气隔离的 差分检测单元。它通过单一检验质量块产生全差分信号， 传感器性能和尺寸得以改善。传感器信号调理利用零力反 馈的电反馈来提高精度和稳定性。此力反馈抵消了传感器 电路引起的静电力。 图19显示其中一个差分传感器单元模块的简化图。每个传 感器模块均集成数个差分电容单元。每一单元都以器件层 上的固定板以及传感器框架上的活动板组成。传感器框架 移位将改变差分电容。片内电路测量电容变化。

机械传感器

ADXL001-500BEZ采用ADI公司SOI MEMS传感器工艺制造。SOI器 件层的传感器经过微加工处理。沟道隔离用于对差分检测 元件进行电气隔离但机械耦合处理。单晶硅弹簧悬挂于晶 圆处理结构之上，提供加速度的力量阻力。

加速度敏感轴

ADXL001-500BEZ是一款x轴加速度和振动检测器件，向引脚8标记 处振动时，产生趋正输出电压。

产品特性 高性能加速度计 提供±70 g、±250 g和±500 g量程范围 22 kHz谐振频率结构 高线性度：0.2%满量程 低噪声： 4 mg/√Hz 敏感轴与芯片平面平行 频率响应低至DC 完全差分信号处理 抗EMI/RFI能力强 完整的机电自测功能 输出为电源的比率 加速度输入过载期间可保持速度 低功耗：2.5 mA(典型值) 8引脚密封陶瓷LCC封装 应用 振动监控 冲击检测 运动诊断设备 医疗仪器 工业监控

ADXL001 iMEMS®加速计在性能与带宽上显著提高。这款器件非常适合需要宽带宽、小尺寸、低功耗以及鲁棒的振动与冲击测量性能的机械安全与工业自动化应用。

利用ADXL001，系统工程师可以在3个动态范围（±70g/ADXL001-70，±250g/ADXL001-250， ±500g/ADXL001-500）之间进行选择，谐振频率均为22kHz。加速计的输出通道经过一个100kHz的双极点贝塞尔滤波器，能够完全发挥传感器的机械性能。这款器件采用3.3 V或5 V电源供电，无需外部电荷泵电路。

ADXL001-500BEZ还拥有独特的自诊断模式，在应用中可以检验设备是否正常工作。

ADXL001-500BEZ加速计采用工业标准的8引脚LCC封装，可在扩展的工业温度范围（–40°C ～ +125°C）内工作。

应用

制造机械监控

冲击检测

振动检测

优势和特点

高性能加速计

宽检测范围：±70g，±250g，±500g

高线性度：0.2%满量程

灵敏轴位于芯片平面内

全差分信号处理

抗电磁干扰（EMI）与射频干扰（RFI）

完全的机电自检

在不同的电源电压下，输出信号的比例系数不同

低功耗：3.5mA（典型值）

5mm LCC陶瓷封装

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