100K 0603 0.1% 25PPM温漂贴片电阻 /50PPM温漂贴片电阻

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TaN薄膜电阻制作是混合微波集成电路工艺生产中的重要一环，其制备方法的优劣，很大程度上决定了微波集成电路的生产效率和成品率。薄膜集成电路膜层结构主要有TaN/TiW/Au、TaN/Cr/Au、TaN/TiW/Ni/Au、TaN/TiW/Pd/Au等。本文以TaN/TiW/Au为例，探讨TaN薄膜电阻的制作方法。在TaN/TiW/Au多层结构中，TaN、TiW和Au薄膜分别作为电阻层、过渡层和导电层。