MKS 1579_数字橡胶密封大流量质量流量控制器

MKS 1579_数字橡胶密封大流量质量流量控制器
量程范围：

50, 100, 200, 300 slm*大输入压力： 
100 psig工作压差：
50, 100 slm 15 to 60 psid;200 slm 25 to 60 psid;300 slm 40 to 60 psid控制范围：
2 to 100% of F.S.控制精度：
&plu*n;1% of F.S.可重复性：
&plu*n; 0.2% of F.S.温度系数（*点）：
< 0.05% of F.S. /°C温度系数（*）：
< 0.10% of F.S. /°C热机时间：
< 30 min控制设定时间：
< 1 s t*ical压力系数：
&plu*n; 0.02% of Rdg/psi操作温度：
15°C to 40°C (59°F to 104°F)设定输入信号：
0 to 5 VDC from < 20 kΩ输出信号：
0 to 5 VDC into > 10 kΩ模拟电气接头：
15-pin T*e “D” male; Profi bus 2 x 9-pin T*e “D” male (*og) and female (Profi bus)本体材料：
316L S.S.T, Nickel, Viton®;Buna-N, Neoprene®, Kalrez®氦泄漏率：
< 1 x 10-9 scc/sec He管道接头：
8 VCR® male;8 VCO® male, DN 16 KF;1/2” Swagelok®, 12 mm Swagelok®;4 VCR® male (for 50 slm only)
详情咨询请致电： 赵先生。