蓝宝石衬底PPS图形化

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在中国大陆地区以 *新的LED PSS干蚀刻法生产良品率*高、亮度*高、生产成本的高亮LED衬底产品。可*,欢迎垂询。

联系:   张先生

 

 

材料 Material高纯度单晶Al2O3
晶向 OrientationC面(0001)&plu*n;0.3°
对M轴偏离角度0.20 &plu*n; 0.05°
对A轴偏离角度0.0 &plu*n; 0.1°
直径 Di*eter50.8&plu*n;0.15mm
厚度 Thickness330μm/430μm&plu*n;25μm
总厚度偏差TTV<10μm
表面总平整度TIR≦10μm
弯曲度   WARP≦15μm
翘曲度     BOW-10 ~ 0μm
定位面方向 Primary Flat LocationA面(11-20)
定位面偏离角度Flat Off-set Angle0.0 &plu*n; 0.2°
定位边长Primary Flat Length16&plu*n;0.5mm
表面粗糙度Frontside Surface RoughnessRA≦3Å(即Ra≦0.3nm)
背面粗糙度 Backside Surface Roughness (Ra)Ra=0.5~1.0μm
包装    Package洁净室内真空冲氮包装
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加工定制

种类

化合物半导体

特性

透光性好 *损 耐腐蚀 * 物理化学性能稳定

用途

蓝宝石衬底外延基片

工艺

泡生法