美国MKS 质量流量控制器

1，新一代πMFC压力不敏感质量流量控制器在功能和性能上都进行了改进，使得半导体和高纯薄膜用户能进一步增加他们设备的产额。2，通过一个*的数字算法，似的控制器对上游和下游的压力扰动不敏感，实现了*的实时流量控制。3，与通常基于PID的数字MFC相比，他由于能实现工艺气体流量的实时控制而*大地*了控制精度，具有更好的工艺腔室匹配性。4，集成的压力传感器和其LED显示可减少所需一个气体stick的组成数目，基于网络的浏览器界面使客户可以实时地进行控制器的设置和故障排除，从而减少了对“无故障”MFC的替换并且无需中断工艺气体输送。