供应SJ6000激光干涉仪

地区:广东 深圳
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深圳市中图仪器股份有限公司

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一.SJ6000激光干涉仪概述


SJ6000激光干涉仪产品采用进口高稳频氦氖激光器、激光双纵模热稳频技术、高精度环境补偿模块、几何参量干涉光路设计、高精度激光干涉信号处理系统、高性能计算机控制系统技术,实现各种参数的高精度测量。通过激光热稳频控制技术,实现快速(5~10分钟)、高精度(0.05ppm)、抗干扰能力强、长期稳定性好的激光频率输出,采用不同的光学镜组与激光配合,得到不同的干涉信号,然后通过高精度激光干涉信号处理系统得到干涉数据,将数据通过计算机进行显示和动态分析。

二.SJ6000激光干涉仪显著特点


1.测量精度高、速度快,稳定性好

①使用高性能氦氖激光器,结合伺服稳频控制系统,达到高精度稳频(0.05ppm)

②以光波长(633nm)为测量单位,分辨率可达nm

③使用高速光电信号采样和处理技术,测量速度可达到4m/s

④配合有环境补偿单元,在环境变化的情况下,也可以得到较高的测量精度

⑤分离式干涉镜设计,避免了测量镜组由于主机发热而引起的镜组形变

2. 应用范围广

①可以实现线性、角度、直线度、垂直度、平面度等几何量的检测

②结合我们的软件系统,可以用于速度,加速度,振动分析以及稳定度等分析

  可实时监控精密加工机床等机器的动态数据,进行动态特性分析

3.软件界面友好

①使用当前热门的软件界面开发工具,软件界面人性化,操作简单。

②将静态测量和动态测量两种功能合并到一个软件中,更方便用户切换测量类型。

③向导式操作,流程清晰,更符合国内用户的使用习惯。

4 性价比高

性能达到了国外仪器的水准,价格是国内仪器的良心价。

三.SJ6000激光干涉仪用途



1.几何精度检测 可用于检测直线度、垂直度、俯仰与偏摆、平面度、平行度等;

2.位置精度的检测及其自动补偿 可检测数控机床定位精度、重复定位精度、微量位移精度等;

3.动态性能检测 利用动态特性测量与评估软件,可用激光干涉仪进行机床振动测试与分析,滚珠丝杠的动态特性分析,伺服驱动系统的响应特性分析,导轨的动态特性(低速爬行)分析。

四.SJ6000激光干涉仪技术参数

五.sj6000激光干涉仪软件内置标准


ISO230-2

老版国际标准

ISO230-1997

新版国际标准

ANSI B5.54

美国国家标准

ASME B89.1.12M

美国机械工程师协会标准

NMTBA

美国机床协会标准

BS 3800 

英国机床标准

BS 4656

英国三测机标准

JIS B6330 

日本国家标准

GB 17421-2000

中国国家标准

VDI 3441

德国机床标准



型号/规格

SJ6000

品牌/商标

中图仪器

测量范围

40m

分辨率

1nm