供应微小气体流量传感器 FS1015CL-150SLPM

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认证:

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供应微小气体流量传感器 FS1015CL-150SLPM

FS1015系列微机电气体质量流量传感器是专门为各类医学用气体的测量和过程控制而设计的。产品采用本公司自主研发的微机电系统(MEMS)流量传感芯片来制作,适用于各类清洁气体。

成本低、易安装、不需要温度压力补偿,可替代容积式或压差式的传统流量计。

产品特点:

技术参数:

产品 FS1015CL 单位
流量范围 0~100 / 0~150 SLPM
量程比 100:1
精度 ±(1.5+0.2FS) %
重复性 0.25 %
零点输出飘移 ±30 mV
输出飘移 ±0.12 %/ ℃
响应时间 8 ms
工作电压 5±1% Vdc
输出方式 线性,模拟电压0.5~4.5Vdc
流量压损 1300 Pa
工作压力 0.2 MPa
工作温度 -10~+55
储存温度 -20~+65
工作湿度 <95%RH(无结冰、无凝露)
电气接口 5针插座,AMP 103956-4
机械接口 ISO-15mm
校准方式 空气,20℃,101.325kPa
重量 21.5 g








型号/规格

FS1015CL-150SLPM

品牌/商标

SIARGO

流量范围

0~100 / 0~150

精度

±(1.5+0.2FS)

响应时间

8

工作电压

5±1%