外形寸法図

単位：mm

LT-9000 系列

表面扫描激光共焦位移计

特性

Z 轴扫描: 对音叉运用共焦原理，实现高精度测量。 X 轴扫描: 振荡模块产生巨大的扫描区域。实现更高的测量稳定性。

• 高精度表面扫描方式
• 0.3 μm 的出色分辨率
• 快速轻松的设置功能
• 适用于各种应用的多种测量模式

• 型号	控制器			LT-9501H	LT-9001H	LT-9501HSO(5654)	LT-9001HSO(5655)
  	传感器头			LT-9011M/LT-9011		LT-9031M/LT-9031
  测量模块兼容性				测量模块无须工厂再校对即可互换
  显示	最小显示单位			0.1 μm *1, 1 μm2, 0.01°		0.1 μm *1
  	显示范围			±9999.99 μm , ±999999 μm2, 9999.99°		±9999.99 μm
  	显微镜功能			有	―	有	―
  	显示周期			10 次/sec*2
  终端模块	模拟输出			±10 V x 2 输出，输出电阻: 100 Ω
  	计时输入			无电压输入
  	复位输入
  	自动调零输入
  	显示器专用电源为			24VDC*3
  控制器I／O	判定模式	3 步进限制输出		适用于 OUT1 (输出 1) , OUT2 (输出 2) 和 NPN 开路集电极输出*4
  	二进位模式	二进制输出		测量数据输出 (21 位), 可选择 OUT1/OUT2/PROFILE (输出 1/输出 2/外形) NPN 开路集电极输出*4
  		选通脉冲输出		NPN 开路集电极输出*4
  		二进制选择器输出
  		二进制选择输入		无电压输入*4
  	稳定性输出			NPN 集电极开路输出
  	激光遥控输入			无电压输入
  	程序切换输入			无电压输入 x 3 输入
  RS-232C 接口				测量数据输出和控制输入和输出 (最高可选择 115,200 位/秒 波德率)
  视频输出				符合 NTSC 系统 (针式连接头)
  主要功能	位移模式			距离测量、通明物厚度测量、角度测量、相关角度测量、表面选择、反黑、屏蔽、趋势图显示和扫描宽度/间隔改变*5		距离测量、通明物厚度测量、表面选 择、反黑、屏蔽、趋势图显示和扫描 宽度/间隔改变*6
  	形状模式			面积选择 (平均数、最大、最小、最大至最小、 面积) 面积计算、扫描宽度/间隔改变、反黑、 平滑、平均计算和形状数据输出*6		―*6
  	一般功能			光强聚积、显微镜 (LT-9501H, LT-9501HSO (5654))、公差判断、8 程序登录、 校准、平均计算、保持模式、自动归零、和界面语言选择
  额定值	电源电压			100 至 240 VAC ±10% 50/60 Hz
  	功耗			最大 110 VA
  	过电压类别			II
  	污染等级			2
  环境耐性	环境温度			0 至 35°C
  	相对湿度			35 至 85% RH (无凝结)
  重量				约 2.4 kg
  *1 显示每 ±0.3 μm 的变化。 *2 根据设定而不同。 *3 监视器专用电源由 KEYENCE 指定。 *4 限制模式和二进制模式选择其一。 *5 距离模式或形状模式选择其一 （距离模式仅有 LT-9501HSO (5654)/LT-9001HSO (5655)）NPN 型开路集电极输出额定值设定最大为 30 mA (30 V 或 30 V 以下)，剩余电压为 0.5 V。 无电压输出设定值为 ON (开启) 时 1 V 电压或 1 V 以下，设定值为 OFF (关闭) 时电流 0.6 mA 或 0.6 mA 以下。 *6 距离模式或形状模式选择其一 （距离模式仅有 LT-9501HSO (5654)/LT-9001HSO (5655)）NPN 型开路集电极输出额定值设定最大为 30 mA (30 V 或 30 V 以下)，剩余 电压为 0.5 V。 无电压输出设定值为 ON (开启) 时 1 V 电压或 1 V 以下，设定值为 OFF (关闭) 时电流 0.6 mA 或 0.6 mA 以下。