MF5000系列小管径小流量气体质量流量计

MF5000系列小管径小流量气体质量流量计产品用于各类工业气体测量和生产过程控制。这类小流量气体质量流量计均采用美国矽翔微机电系统有限公司自主研发的微机电系统(MEMS)流量传感芯片来制作。本小流量气体质量流量计产品适用于各类清洁气体的应用；可用于各类管径（1-22mm）；易安装、无需温度压力补偿、压损小；采用直接测量，可替代传统旁路热式或压差原理的流量计，并可配以多种信号输出，通过通讯接口实现网络管理功能。

MF5000小流量气体质量流量计产品特点:

·传感器灵敏度高，*小的始动流量

·传感器芯片采用热质量流量计量，无需压力、温度补偿，保障了流量计的*计量

·在单个芯片上实现了多传感器集成，使该流量计的量程比大大*

·8~24V供电

·传感器*点稳定性较传统的热式质量流量计有*大的*

·结合二次仪表的微控制职能技术，使该流量计重复性好，实现了计量准确*

·与传统的机械式仪表相比，压力损失大幅度减小，为用户降低了能源消耗

·采用LCD显示瞬时和累积流量，清晰直观，读数方便

·RS485通讯模块，配合*计算机网络可实现集中管理

·根据需要可以选择4~20mA输出、电平输出、脉冲输出模块

·体积小、安装方便.

MF5000小流量气体质量流量计尺寸:

MF5000小流量气体质量流量计技术参数:

MF5000小流量气体质量流量计选型表:

MF5000小流量气体质量流量计量程范围:

MF5000小流量气体质量流量计量程单位详细备注:

SCCM : 标毫升/分

SLPM : 标升/分

SCFM : 标立方英尺/分

NCMH : 标方/小时

标准条件 : 20℃ , 101.325KPa