供应法国STIL光谱共焦位移传感器
地区：江苏 苏州
认证：
无
图文详情
产品属性
相关推荐
非接触位移传感器
STIL Initial:技术参数表
|
控制器 |
STIL Initial系列 |
||||
|
型号 |
STIL Initial 0.4 |
STIL Initial E1.2 |
STIL Initial E1.2/90(1) |
STIL Initial 4.0 |
STIL Initial 12 |
|
光学笔 |
|||||
|
型号 |
CL2-MG140 |
ENDO 1.2 |
ENDO 1.2/90(1) |
CL4-MG35 |
CL5-MG35 |
|
测量范围 |
0.4mm |
1.2mm |
1.2mm |
4.0mm |
12.0mm |
|
工作距离 |
11.0mm |
2.4mm |
0.4mm |
16.4mm |
29mm |
|
光斑大小 |
3.4μm |
15μm |
13μm |
7.2μm |
16.5μm |
|
最大倾斜角度(2)(3) |
±28° |
±14° |
±9° |
±21° |
±14° |
|
重量 |
190g |
10g |
10g |
155g |
175g |
|
规格尺寸：Φ×L |
Φ27㎜×208.9㎜ |
Φ6㎜×75.2㎜ |
Φ6㎜×82㎜ |
Φ27㎜×145.5㎜ |
Φ27㎜×145.5㎜ |
|
位移测量 |
|||||
|
轴向分辨率(4) |
|||||
|
无平均值 |
22nm |
100nm |
160nm |
130nm |
400nm |
|
有平均值（10） |
8nm |
35nm |
60nm |
50nm |
180nm |
|
精度(5) |
80nm |
300nm |
800nm |
300nm |
900nm |
|
测量粗糙的金属样品(9) |
R |
NR |
NR |
NR |
NR |
|
粗糙度测量(10) 最小可测量值 |
30nm |
NR |
NR |
NR |
NR |
|
厚度测量(6) |
|||||
|
最小可测量厚度(7)(8) |
16μm |
75μm |
NA |
110μm |
450μm |
|
最大可测量厚度(7)(8) |
510μm |
1600μm |
NA |
5700μm |
16500μm |
|
控制器 |
|||||
|
测量模式 |
<位移> 和 <厚度> |
||||
|
测量速率 |
100Hz-2000Hz |
||||
|
数字量输出 |
USB2.0和RS232（最大到460800波特率） |
||||
|
数字量的分辨率 |
<位移>模式：30bits |
||||
|
<厚度>模式：15bits |
|||||
|
同步性 |
0V-5V输入输出TTL同步信号，带触发功能 |
||||
|
优点
|
<双频率>模式 |
||||
|
<LED自动调节>模式 |
|||||
|
<第一高峰>模式 |
|||||
|
<保持上个数值>模式 |
|||||
|
<厚度校准> |
|||||
|
电源/功率 |
100V-240VAC 50-60Hz/25W |
||||
|
重量 |
1920g |
||||
|
尺寸 W×H×D |
199mm×123.5mm×277mm |
||||
|
光纤电缆 |
|
||||
(1)径向（90°）测量光学笔。
(2)最大倾斜角度只适用于镜子似的（像镜子）表面。对于漫反射表面，最大倾斜角比较高（最大漫反射角度达87°）。
(3)以100Hz的频率在镜面上测量，不进行平均计算。
(4)轴向分辨率的定义是指以最佳采样速度在中心量程测量静态样品得到的RMS噪声值，不进行平均计算。
(5)精度是指在测量的整个范围内，进行以下几种情况的位移校准时测得的最大误差值：“LED自动调节”模式，最佳采样速度，倾斜角=0°，平均系数=测量速率/10。
(6)在这种模式下为得到最佳测试性能，建议在一个标准厚度进行校准。
(7)这些值是用于折射率为1.5的情况（测量空气间隙厚度要除以1.5）。
(8)典型值，是指使用中间量程以最采样速度测量的值。
(9)R=推荐用于测量粗糙金属样品（这些样品各项性能都能被测量）。
NR=不推荐用于测量粗糙金属样品（这些样品可以测量，但是性能不是很好）。
(10)最小可测量的精度值取决于样品的规格参数。上表所例的数值是典型值。
注意：数据如有改动，恕不另行通知。
2nm
100Hz-30KHz
3.4um
