供应晶圆平整度曲率应力测量仪--德国OEG公司

北京特博万德科技有限公司代理销售德国OEG公司光学及半导体专业测试仪器。

德国OEG公司成立于1991年，设计制造光学测量和半导体测量仪器，产品属于高精密仪器，设计紧凑操作简单，超高性价比。深受广大科研用户的认可。

产品包括：

• 光学测量平台

• 电子准直镜

• 金刚石切片机

• 晶圆平整度测量、曲率、应力测量

• 线宽、特征尺寸测量仪

• 接触角、表面张力、表面自由能测量仪

德国OEG晶圆平整度曲率应力测量仪—Flatscan

光学非接触表面测量仪，能进行大范围的2D和3D测量，可测量晶圆应力（薄膜应力），表面半径曲率和斜坡。

FLATSCAN：主要用于各种像硅、镜片、金属和抛光聚合物等反射表面的非接触测量，可测量平整度、表面曲率、平均半径和应力。光学测量原理保证了高精度，是通过测量垂直入射激光束的反射角，表面状态能通过测量点发射角的改变精确测量。

就半导体行业而言，是通过镀膜前后的对半径的计算测量应力。

大测量的范围：测量直径最大200mm

高测量精度：0.1arcsec, 100nm