超精密气体质量流量控制器，MFC300 0~300ml/min(sccm)

技术参数：
　　流量规格：0~330sccm(mL/min)
　　准确度：±0.2%F.S
　　线性度：±0.1%F.S.
　　重复精度：±0.1%F.S.
　　工作压差：0~0.6MPa
　　最大耐压：1MPa
　　环境温度：0~65℃
　　电气连接：DB9
　　输出信号：模拟、RS232、RS485、CAN
　　电源：15~40VDC
　　标准气路接头：M8*1
　　气路管径：3.2mm（外径）
　　可以测量的气体类别：Ar、N2 、O2、Air 、NO、CO、CH4、NH3 、N2O 、NO2 、CO2

产品简介：
　　MF300产品采用单电源供电(15~40VDC)；可模拟量和数字通讯（CAN、RS485、RS232）显示和控制气体流量；也 可以直接连电脑通讯，并通过数字通讯改变控制流量或通讯设置；也可以连二次仪表显示；具有多气体测量， 高精度，高稳定性，极低零漂特性。本产品在性能、安装和维护方面也具有其独特的优越性，可广泛应用于石 油、燃气、化工、冶炼、能源等各个领域。

产品特性：
　　1.无可动部件
　　2.支持多种通讯协议
　　3.容易安装及维护
　　4.高精度、高稳定性、极低的零漂
　　5.可控多种气体

应用领域：
　　－分析仪器－干刻（RIE/DRIE）
　　－生物技术－气相色谱分析
　　－激光焊机－过程自动化
　　－真空镀膜－燃料电池

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