电镜（电子显微镜用光源）

概述：
DENKA TFE、LaB6 Cathode是纳米技术所不可缺少的 SEM、TEM各式电子显微镜的电子光源。
半导体制造行业里，对检测设备的需求会越来越高。此外，在室温即可操作的Ga离子源的
《L-MION》，也正是集束离子放射（FIB）设备所需求的离子源。
用途
分析 电子显微镜（SEM/TEM）局部，表面分析机器
半导体检查 CD-SEM,DR-SEM, INSPECTION SEM, EB TESTER故障分析，元器件诊断工具
半导体制造 电子线曝光设备
其他产业 液晶检查设备，磁气硬盘读头制造，检查设备