供应SMT-9700高传感器半导体晶片位置确定（物理气相沉淀)
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产品属性
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SMT-9700高精度传感器半导体晶片位置确定（物理气相沉淀)
目标
1 能够精确地调整和保持半导体晶片在进行物理气相沉淀（PVD）室中整齐排列。
2 避免在进入沉淀室时，由于排列不整齐而造成晶片损坏。
3 确保沉淀物统一地沉淀在晶片上。
解决方案
高精度传感器在物理气相沉淀系统中，晶片会被放入不同的沉淀室里，每一个沉淀室用来沉淀不同的物质。传感器被安装在沉淀室的内侧（如图所示）。每个传感器测量载有晶片的传送器在沉淀室中的位置。Kaman系统提供了模拟和数字两种输出信号，以防止超出系统可承受的范围。
结果：提高了时间和精度。
高精度传感器特点
1 类型：SMT-9700
2 非接触性：应用涡电流的技术，每一个传感器均可以无接触地测量到目标体的位置。
3 高分辨率：系统可识别
4 重复性： Kaman传感器可以提供高精度的性能，可以反复用于物理气相沉淀。
5 系统多功能性：测量系统可以广泛用于测量的各个领域。
高精度传感器解决方案
在沉淀开始前，Kaman传感器确保金属盘与喷洒器保持平行的位置关系，喷洒器用来均匀喷射气体(如图所示)。传感器则用来做校准装置，这样校准可以定位金属盘在一个最合适的位置。Kaman系统提供了模拟和数字两种输出信号，以防止信号值超出可承受范围。如果金属盘倾斜，制动装置将校正其位置。
高精度传感器能静态和动态地非接触、高线性度、高分辨力地测量被测金属导体距探头表面的距离。它是一种非接触的线性化计量工具。电涡流传感器能准确测量被测体（必须是金属导体）与探头端面之间静态和动态的相对位移变化。
高精度传感器 Kaman KD-5100镜面控制
目标
1 定位镜面的位置来控制追踪激光束的轨迹，从而达到通信和研究的目的。
2 在低辐射区域精确定位这种镜面，反射激光束可以找到几百公里外的目标。
高精度传感器解决方案
Kaman KD-5100测量系统，四个触发电感的传感器，每轴一对，均放置在镜面的后面用来检测其运动范围内的位置变化（如图所示）。每个传感器作为平衡电桥的一条腿；当镜面发生转动时，电桥就变得不再平衡。传感器提供了一个两极的电压输出，这个电压的变化是由角度的变化按比例转化来的。
注：mirror: 镜面
Pivot :转轴
Sensors：传感器
高精度传感器拥有两个精确匹配的传感器被放置在被测物平台两侧，这两个传感器组成了平衡桥电路相反的两端，这个结构提供了极好的线性和热稳定性，所以其输出准确地记录了线性的最微小移动。
高精度传感器特点
1 类型：KD-5100
2 非接触性：应用涡电流技术，传感器无需接触就可以测量目标物体的位置。整个系统无需移动，是一个非常稳定的系统。
3 高分辨率：镜面的位置可以在低辐射区域精确测量，它的精度只受传感器的位置的影响。
4 适应性：多重传感器配置在多重区域测量和需要其他考虑的时候应用到，比如镜面的大小和位置。
5 封装性：KD-5100系统封装后只有5.4×5×1.9cm，重量约为70g。
6 多功能性：KD-5100系统可以用来控制镜面的位置以适用于于卫星通信，夜视，以及激光等方面。
高精度传感器主要特点：
每通道两个精确匹配的传感器使分辨率达到1nm；
超耐热，长时间稳定：1.27x10-4mm/月或更好；
有耐低温传感器；
非常高的灵敏度，最高到394 mV/μm；
低功耗：小于2W(±15 Vdc典型情况下)；
SMT-9700
ZSY
小于2W(±15 Vdc典型情况下)
394 mV/μm
