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电容位移传感器ZNXsensor电子显微镜应用 位移传感器
对于缓慢变化或微小量的测量,一般来说采用电容位移传感器进行检测比较适宜,主要是这类传感器具有以下突出优点:
1、测量范围大 其相对变化率可超过100%;
2、灵敏度高 如用比率变压器电桥测量,相对变化量可达10-7数量级;
3、动态响应快 因其可动质量小,固有频率高,高频特性既适宜动态测量,也可静态测量;
4、稳定性好 由于电容器极板多为金属材料,极板间衬物多为无机材料,因此可以在高温、低温强磁场、强辐射下长期工作,尤其是解决高温高压环境下的检测难题。
本文将要说到的电子显微镜应用就需要电容位移传感器的支持(原因:采用电子显微镜进行纳米操作,在硬件装备中有一项关键技术,那就是要解决载物台或其相应设备的高精度的自动测量和精确定位。)
应用方案说明:显微镜移动台在移动停止后会有一定的反弹,平台移动总的的位移量有几毫米,但反弹量很微小,但反弹量决定了平台的移动精度。可以使用电涡流传感器测量平台的较大范围的移动,使用ZNXsensor电容位移传感器测量反弹的微小位移。
深圳市真尚有科技有限公司的ZNXsensor型超精密电容位移传感器(双通道电容传感器),这是一种非接触式的电容位移传感器;两个传感器板形成一个平行板电容器,每个传感器可用在两个不用的测量范围;纳米分辨率;零磁滞。
其主要特点有:
量程20~1250μm;
分辨率<0.1nm;零磁滞;
线性最高0.02%;
频带可调:50~5000Hz;灵敏度可调;
真空兼容选项;
运用ZLDS10X激光位移传感器检测硬盘磁头振动
伴随着科技的不断进步,电脑的发展也越来越快,几十年来硬盘作为存储介质的中坚力量,无论从容量还是性能方面都有了翻天覆地的变化,但现在它在个人电脑中必要存储设备的地位依然是不可动摇,在任何个人电脑系统中,硬盘都是最重要的部件之一。目前它也是用户存储数据的主要场所,平时我们所使用的操作系统、应用软件、游戏及其它重要数据等都是存储在硬盘中。硬盘磁头则是能否使用硬盘正常运转的关键所在,它主要通过高频振动来读取资料,但频率过大则很容易引起介质间的损害,运用真尚有公司ZLDS/N-100激光位移传感器能在不接触的情况进行科学检测。
检测方案
用ZLDS/N-100激光位移传感器测量硬盘磁头振动,其测量频率为100K,可有效检测出磁盘高频振动。ZLDS10X系列品牌激光位移传感器具有数字集成一体化结构及众多高性能指标:0.01%高分辨率,0.1%高线性度,180KHz高响应、IP67高防护等级和可同步等。同时,它的工作温度范围宽,特别适合工业环境下的高精度应用。
ZNX
ZSY
20~1250μm
<0.1nm