LVDT电感式栅尺

基于线圈互感原理，线圈与目标金属块之间是大约1mm的近场感应，线圈的工作频率大约为2-4MHz，与工频条件下数百至数千Hz的干扰源频率差很大，不受电磁干扰影响。在初级线圈中通过高频震荡电流，生成的磁通穿越次级线圈，产生稳定的互感值。当金属块靠近时，由于金属表面的涡流效应，会产生反向抵抗磁通，使互感值减小，减小的磁通面积如剖面所示。当金属块从左向右移动时，剖面面积逐步增大，互感值逐步减小，即可测得金属块的位移。线圈尺寸和互感的采样精度，共同决定了分辨率，采用特殊工艺的微型线圈可优于1um，在长量程的应用中，单一线圈的长度也可达到300mm。在实际的传感器中，由于初级线圈中的磁通在靠近线圈处更密集，因此次级线圈也会调整为正弦线型，并且由多个次级线圈共同工作，测得其信号的差分值，获得稳定可靠的输出。