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MKS ASTex LIQUOZON-HELIO3 气体模块,溶解臭氧输送系统

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MKS ASTex LIQUOZON-HELIO3 气体模块,溶解臭氧输送系统

MKS LIQUOZON HELIO3 GAS MODULE, MODULAR DISSOLVED OZONE DELIVERY SYSTEM，12-49ppm, 60 lpm

规格

  • 类型
    利夸松? HeliO3臭氧输水系统
  • 臭氧发生器
    AX8407LS-D-01
  • 臭氧浓度
    12 - 49 页/分钟
  • 流量
    60 lpm，在旁路模式下可实现更高的流速
  • 原料气
    O2
  • 原料气质量
    ≥4.0级（纯度≥99.99%），露点<-40°C
  • 原料气流量
    ≤8 毫升/分钟，典型值 4.8 卢/分钟，符合 SEMI E12 （0°C / 1.01325 巴） 标准
  • 原料气入口压力
    4.5-7.6 巴g（0.45-0.76兆帕）g， 65-110 psig）
  • 掺杂气体
    二氧化碳
  • 掺杂气体质量
    ≥4.5级（纯度99.995%）露点≥40°C
  • 掺杂气体流量
    ≤0.3 毫升/分钟，典型值 0.2 卢/分钟，符合 SEMI E12 （0°C / 1.01325 巴） 标准
  • 掺杂气体入口压力
    5.0-7.6 巴g（0.50-0.76兆帕）g， 73-110 psig）
  • 需要 N2 掺杂气体纯度
    ≥4.0级（纯度≥99.99%），露点<-40°C
  • 所需的 N2 掺杂气体压力
    4.5-7.6 巴g（0.45-0.76兆帕）g， 65-110 psig）
  • N2掺杂气体标准流量要求
    ≤0.8 sccm，典型值 0.5 sccm，符合 SEMI E12 标准（0°C / 1.01325 bar）
  • 需要压缩干燥空气标准流量
    ≤10 毫升/分钟，典型值 2 毫升/分钟，符合 SEMI E12 标准 （0°C / 1.01325 巴）
  • 需要压缩干燥空气纯度
    过滤（不含油和颗粒）
  • 所需的压缩干燥空气压力
    5.2-8.2 巴g（0.52-0.82兆帕）g， 75-119 psig）
  • 推荐冷却水流量
    典型值 3.8 升/分钟
  • 冷却水压力
    Z大 5.0 巴g（0.5兆帕g， 73 磅/平方英寸）
  • 冷却水温度
    17 - 23°C，额定温度 20°C
  • 所需冷却水压差
    ≥2.0 公斤（0.2 兆帕，29 磅/平方英寸）
  • 冷却水质
    脱盐，过滤（≤20μm）
  • 所需的冷却水电阻率（电导率）
    50-3000 千米欧姆厘米（20 - 0.33 微秒/厘米）
  • 所需的冷却水pH值
    7.0 - 8.0
  • 气体模块
    12-14100-01300-2M00
  • 气体模块材料
    涂层钢
  • 气体模块电源频率
    50-60赫兹
  • 气体模块电源防护等级
    防护等级 40
  • 气体模块电源 集体视在功率
    2000 VA
  • 气体模块电源相位
    3/N/PE~
  • 气体模块电源有效值满载相电流
    Z大 3.8 A
  • 气体模块电源集体真动力
    1980 瓦
  • 气体模块电源电压
    400 V ±10%
  • 湿式模块
    12-21A-1000A-0000
  • 湿模块材料
    聚丙烯
  • 润湿表面
    气体：316L不锈钢，全氟乙烯，聚四氟乙烯 液体：聚四氟乙烯，聚四氟乙烯，氟
    橡胶
  • 湿模块 - 工艺液体输入 - 由 TOOL 提供
    HF和HCl的去离子臭氧水各高达10重量%，不含硅片碎片
    压力： 0.5-2.5 巴    g（0.05-0.25兆帕）g， 7-36 psig）
    温度： 15 - 50°C
    流速： Z大 60 升/分钟
  • 控制接口
    二进制输入/输出（干触点），RS232，RS485，USB
  • 合规
    CE， 半 S2-0302， 半 F47

型号/规格

LIQUOZON-HELIO3

品牌/商标

MKS

量程

60 lpm

价格

489760