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mks 360170.真空计Granville-Phillips. 360/370Stabil-Io
真空计(Vacuum Gauge),又称真空表,是测量真空度或气压的仪器。一般是利用不同气压下气体的某种物理效应的变化进行bai气压的测量。在科研和工业生产中广泛使用。
按照真空计测量原理所利用的不同的物理机制,可将主要的真空计分为三大类,分别是利用力学性能、利用气体动力学效应和利用带电粒子效应的真空计。
利用力学性能的真空计典型的有波尔登规(Bourdon)和薄膜电容规;利用气体动力学效应的典型真空计有皮拉尼(Pirani)电阻规和热电偶规;利用带电粒子效应的典型真空计有热阴极电离规和冷阴极电离规。
波尔登规(Bourdon)
如右图所示,细的铜管受气体压力不同会有舒展现象,会带动杠杆和齿轮旋转,使得指针指示在不同刻度上,即可读出相应的气压值。
这种规的测量范围一般在100Pa至1atm。
360170.真空计Granville-Phillips. 360/370Stabil-Io
MKS
100Pa至1atm
16920.0
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