英国EDWARDS爱德华IXM600 LV SYS干泵A56126958 180239680

英国EDWARDS爱德华IXM600 LV SYS干泵A56126958   180239680

Edwards iXM系列是低能耗干泵，在关键半导体工艺上帮助用户提高制程稳定性并降低整体能耗。

Edwards iXM系列干泵产品优势与特点：

使用寿命延长

4倍于前代产品的抗腐蚀能力

卓越的粉尘处理能力

低功耗

超低功率输入仅1.4千瓦

比前一代干泵功率减少60%

节能模式帮助用户节省用电和氮气等运行成本

减少对环境的影响

静音运行

体积轻巧

EDWARDS低能耗泵iXM系列，专为蚀刻和化学气相沉积流程而设计。它功率强，体积小，低噪音低。它具有高效电机和低损耗设计可提供极低的能耗，改进的氮气吹扫设计以及更加宽的温度设定范围延长泵在腐蚀环境下的使用寿命。独有的转子设计和更高的马达扭矩带来卓越的粉尘处理能力。

EDWARDS iXM 有型号：iXM200，iXM600，iXM1200 以及iXM1800