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1测量范围 2运动速度 3输出信号 4分辨率 5安装方式 6膨胀系数 Specifications: LIDA 473C 窗体顶端 Measuring procedures 增量式 测量标准 玻璃基体上的METALLUR光栅Robax玻璃陶瓷基体上的METALLUR光栅Zerodur玻璃陶瓷基体上的METALLUR光栅 热膨胀系数 玻璃: αtherm ≈ 8 x 10-6K-1 Robox玻璃陶瓷: αtherm ≈ 0 x 10-6K-1 Zerodur玻璃陶瓷: αtherm ≈ (0 ± 0.1) x 10-6K-1 精度等级 ± 5 μm 测量长度(ML)
LIDA47光栅读头1116324-36
HEIDENHAIN
24V
6930.0
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