英国EDWARDS爱德华iH1000,380V干泵真空泵

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英国EDWARDS爱德华iH1000,380V干泵真空泵

在节省电机功率的同时程度提高了工作繁重的CVD应用条件下的稳定性。

耐腐蚀的制造材料允许泵送腐蚀性气体。

较高的工作温度为避免气体冷凝提供了充分的安全保证。

整体式轴杆无需使用电机联结器,而第五级泵消除了使用消音器的需要并消除了颗粒

堆积,从而降低了总体占地面积。

技术数据

iH80

iH160

iH600

iH1000

iH1800

峰值速度

103 m3h-1

165 m3h-1

600 m3h-1

1000 m3h-1

1800 m3h-1

61 cfm

97 cfm

353 cfm

589 cfm

1060 cfm

1717 l min-1

2750 l min-1

10000 l min-1

16670 l min-1

30000 l min-1

极限真空

1 x 10-2mbar

1 x 10-2mbar

7 x 10-4mbar

1 x 10-3mbar

1 x 10-3mbar

7.5 x 10-3Torr

7.5 x 10-3Torr

5.3 x 10-4Torr

7.5 x 10-4Torr

7.5 x 10-4Torr

1 Pa

1 Pa

0.07 Pa

0.1 Pa

0.1 Pa


型号/规格

干泵真空泵iH1000

品牌/商标

EDWARDS爱德华

电压

380V

价格

173800.0