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0190-81568 PVD 蚀刻机使用
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蚀刻机的原理是bai在材料du上腐蚀减少一部zhi分,而真空dao镀是在材料上添加zhuan一层薄膜,一个是shu本身材料在减少,一个是本身材料上覆盖一层其他物质刻蚀机目前国际上主要的供应商为应用材料、Lam Research等。中国方面技术有慢慢追上的趋势,即将登录科创板的中微半导体,其自主研发的5nm等离子体刻蚀机经台积电( 2330-TW )验证
0190-81568 PVD蚀刻机
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