Aera质量流量控制器FC-7800CD 50SCCM 50%PH3/SIH4

模拟金属密封;
流量范围:10 sccm-5 slm;
精度:≤±1% FS ;
最大进气压力:140 psi(981 kPa)
美国Aera FC-7700系列质量流量计

优点：
高性价比
响应速度快：小于2秒
无与伦比的可靠性：使用一年以上，零点漂移小于满量程的0.5%
易于集成：标准接头和尺寸
出众的效果：高品质膜层与蚀刻特性

特性
非金属密封
VCR连接
量程范围从10SCCM到150SLM
常闭或常开式电磁阀
允许最大清洗流量：高达最大校准值的100倍
漏率1×10-6 atm-cc/秒(氦)

型号/规格

流量控制器FC-7800CD

品牌/商标

Aera

量程

50SCCM

价格

25830.0