TEL 12寸晶圆盘5043-000310-12东京电子UA039/011A UR033/015A

测量范围

*小读值

指示精度

反应速度

测量力

测头

防水胶套

IPD-B505F/05M

5mm

0.5um

1um以下

2000mm/sec

<1.08N

F-201(陶瓷测头)

M-132

IPD-B505F/2M

5mm

0.5um

1um以下

2000mm/sec

<1.08N

F-201(陶瓷测头)

M-132

IPD-B505F/2M-03N

5mm

0.5um

1um以下

2000mm/sec

<0.3N

F-201(陶瓷测头)

M-132

IPD-P510/2M

10mm

0.5um

1um以下

2000mm/sec

<1.08N

F-201(陶瓷测头)

M-132

IPD-P510/2M-03N

10mm

0.5um

1um以下

2000mm/sec

<0.3N

F-201(陶瓷测头)

M-132

IPD-P510N/2M

10mm

0.5um

1um以下

2000mm/sec

<1.08N

F-201(陶瓷测头)

M-132

IPD-P510N/2M-03N

10mm

0.5um

1um以下

2000mm/sec

<0.3N

F-201(陶瓷测头)

M-132

IPD-P510B/2M

10mm

0.5um

2.5um以下

2000mm/sec

<1.08N

F-201(陶瓷测头)

M-132

IPD-P510BN/2M

10mm

0.5um

2.5um以下

2000mm/sec

<1.08N

F-201(陶瓷测头)

M-132