全新MKS流量计M100B13CS1BV-S流量计控制器 1/4卡套接口1000SCCM

压力测量和控制系列的电容薄膜压力传感器、模拟和数字压力控制仪器和阀等提供半导体工艺上、下游压力控制设备；质量流量控制器测量和控制半导体工艺中各种高纯度、高精度气体流量；射频、直流及脉冲等离子电源、匹配器及测试工具为半导体工业提供了可靠的固态电源；ASTEXI系列产品提供诸如用于工艺腔清洁的ASTRON氟离子发生器，用于去胶工艺的R*EVOLUTION等离子源，用于CVD、ALD和清洗的SEMOZON气态和LIQUOZON液态臭氧发生器

型号/规格

M100B13CS1BV-S流量计控制器

品牌/商标

MKS

量程

1000SCCM

价格

11860.0