MKS流量计、GE50A-30352，20000SCCM N2质量流量控制器

MKS GE50A通用橡胶密封数字质量流量控制器精度为设定值的± 1%，相应速度快于500毫秒，不同气体及量程间自由切换。通过一个先进的数字算法，实现了精度的实时流量控制。与通常基于PID的数字MFC相比，它由于能实现工艺气体流量的实时控制而极大提供了控制精度，具有更好的工艺腔室匹配性。

基于EtherNet 用户通讯口网络的游览界面使客户可以实时地进行控制器的设置和故障排除，从而减少了对“无故障”MFC的替换并且无需中断工艺气体输送。

例：型号GE50A013502R6V010(代表的是气体介质是氮气，流量*大是500sccm，配件法兰接口是Swagelok 4VCR male，通讯接口是DeviceNet，密封材料是Viton橡胶密封）

GE50A质量流量控制器 采购系列号GE50A

用于标准的气体(SEMI Gas编号）

氮气，N2	013
氨气，NH3	029
六氟化硫，SF6	110

流量范围，SCCM满量程（相当于氮气）

5	500
10	101
20	201
50	501
100	102
200	202
500	502
1000	103
2000	203
5000	503
10000	104
20000	204
30000	304
50000	504

装配件（法兰接口）

Swagelok 4VCR male	R
1/4 Swagelok	S
C-Seal,(92mm port to port)	C
W-Seal,(92mm port to port)	H

通讯接口

Profibus	4
RS485	5
DeviceNet	6
Analog 0 to 5 VDC（9针D型）	A
Analog 0 to 5VDC （15针D���）	B
Analog 4 to mA（15针D型）	H

密封材料

标配：Viton	V
选配：Neoprene	N
选配：Buna-N	B
选配：Kalrez	K

预留MKS的未来应用

标准

0

固化软件版本

除非另有说明，MKS会安装订货日期的*新固化版本软件

10

满量程流量为3位数字显示，前两位表示量程流量的有效数字，由小数点分开；第三位表示10的指数

注：其他气体可选，完全替代MKS 1179A质量流量控制器

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