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MKS射频RF电源 GHW12Z-13DF2N0-005 040035272

地区：上海 上海市
认证： 无

上海闻企电子科技有限公司

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GHW系列高频射频电源为MKS目前的射频主流产品。他的标准输出频率为13.56MHZ,输出功率包括1250W，2500W，5000W。

目前主要应用包括：等离子清洗，PECVD，HDPCVD，刻蚀以及真空镀膜等，主要应用领域包括半导体，平板显示，LED，太阳能电池等领域。

 

GHW系列射频电源的特点：

1． 电源频率稳定性：13.56MHZ±0.005%;

2． 精度：全功率范围的±1.5%；

3． 自动失谐保护；

4． 不限的阻抗调谐范围；

5． 高清数字显示；

6． 易于集成，体积小；

型号/规格

射频RF电源 GHW12Z-13DF2N0-005

品牌/商标

mks

电压

24V

价格

49830.0