日本HORIBA堀场质量流量计SEC-Z514MGX 硅烷 SEC-Z524MGX氨气 3SLM

SEC-Z514MGX 硅烷 SEC-Z524MGX氨气 3SLM

质量流量控制器是半导体生产设备上的关键部件。它的质量和性能是影响半导体制程优劣的主要因素。HORIBA STEC作为一家长期以来，为半导体持续不断的提供高质量、高性能的元器件供应商，已将市场份额扩展到50%以上。

特征

高精度±1.0% S.P.
HORIBA MFC包含多项式近似曲线实现线性补偿。此功能实现量程上的高精度。为了真实的反应实际气体精度，HORIBA STEC监测了不同的工艺气体创建了针对不同气体的校正数据，建立标准气体管理系统，实现气体精度确认。
高速响应
装载“变量PID系统”可实现两设定点之间1秒内快速响应。变量PID基于流量设定点而持续变化。即使满量程或气体更改，也能不会影响PID功能。
多气体，多量程解决方案
HORIBA的配置软件可简单更改MFC的规格。MFC的规格改变不需从设备端拆卸。此举减少MFC库存需求，减少时间和成本的浪费。

型号/规格

SEC-Z514MGX SEC-Z524MGX

品牌/商标

HORIBA堀场

流量

3SLM

价格

13860.0