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MKS流量计是以单位时间内压力体积的流量方式来控制气体质量流量的测量仪器。MKS薄膜真空计、MKS流量控制阀、MKS流量计广泛应用在半导体行业,镀膜玻璃,医药制药行业,生物工程行业,适合各种气体媒介,常用的有氧气,氢气,氮气,氯化氢气体,氨气,SICL4硅烷气体等。
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