原装现货流量计 Aera质量流量控制器 FC-R7800CD 1.2SLM SiH4

性能指标

FC-R7800CD/FC-R7800D系列

FC-R7810CD/FC-R7810D系列

FC-R7820CD/FC-R7820D系列

满量程范围

10Sccm-5Slm

N/O:6-20slm*

N/C:6-50slm**

35-200Slm

响应时间

满流量的±2%范围内,小于2秒

满流量的±2%范围内,小于3秒

精度

≤±1%满量程

≤±2%满量程

线性镀

≤满量程±0 5%

≤满量程±0 5% ＃1

≤满量程±1%

重复性

                          ≤满量程±0.2%

泄漏率

                            1X10E-11 Pa.m 3/sec

控制范围

                          满流量的2%-5%  #2

压差

49Kpa-275Kpa

69Kpa-275Kpa

98Kpa-275Kpa

147Kpa-275Kpa

正常工作压

力

                           490Kpa

*高进气压力

                           980Kpa

温度范围

                           5-45℃(41-113℉)

输入电源

+15VDC±2% 25mA

-15VDC±2% 180mA

+15VDC±2% 25mA

-15VDC±2% 200mA

功率

3.1W max

3.5W max

输入信号

0-5 VDC

输出型号

0-5 VDC

控制阀形式

常开或常闭电磁阀

密封件

金属密封

材质

316L，316，PTFE，不锈钢（氟橡胶，氯丁橡胶）

标准接口

1/4"VCR和Swagelok兼容

3/8"VCR,1/4"VCR

重量

1.0KG

2.7KG