美国mks 925系列微皮拉尼真空计 真空规 925-11010

地区:上海 上海市
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【简单介绍】MKS 925系列微皮拉尼真空计,是基于一个以微电子机械系统的热量传导型的真空传感器,925真空计可以用于真空压力测量和提供模拟电压输出,数字通讯和用于工艺控制的中继点。【详细说明】产品特点:

● 压力测量范围在10ˉ5Torr 到大气压,大于普通的皮拉尼真空计2个测量等级

● 3个用于工艺控制的中继点(选择性)

● 超精致的设计

● 为工艺控制提供高的测量精度

● 模拟的输出和数字通讯(RS232或RS485)提供了简便的操作

● 可以抵御大气冲击和振动

● 可以方便地安装于任何方向,没有任何测量精度的损失

● 可以替代任何供应商的真空计和设施的升级

● 符合欧洲CE,EMC标志

应 用:

MKS925真空计可以使用于半导体工业的分析和镀膜工艺上的测量。

● 一般的真空压力测量

● 前极管路和低真空的测量

● 气体的充填测量和控制

● 质谱仪器的控制

● 超高真空计的启动

● 工艺系统的控制

● 控制系统的压力

型号/规格

真空计 真空规 925-11010

品牌/商标

MKS

量程

10ˉ5Torr

价格

13620.0