供应日本崛场(HORIBA) 数字式质量流量控制器 SEC-V100D

数字式质量流量控制器

SEC-V100D 系列

(制造单位：HORIBA STEC有限公司)

以流量设定点作为流量误差的基准，从而实现了高精度流量控制的型号

概要高精度：±1.0%S.P.(设置点)(30～100% F.S.)高速响应：搭载了快速启动功能，实现了1秒以内的响应性。产品阵容中有防止倾斜影响的型号(MF型号)：

搭载了针对热虹吸现象的原理上而采取了相应措施的MF传感器和模拟MFC的完全互换小型尺寸：面间距离106mm、适于集成气体面板 技术规格型号SEC- (质量流量控制器)V110DMV120DMSEF- (质量流量计)V110DMV120DM气体接触部材质SUS316L.PTFE.磁性不锈钢阀门型号NO:非通电时 开； NC:非通电时 关闭非通电时 关闭标准流量量程

(N2相当F.S.)10/20/30/50/100/200/300/500 SCCM 1/2/3/5/10 SLM20/30/50 SLM流量控制范围

(适于SEC系列)2～100% F.S.流量测量范围

(适于SEF系列)0～100% F.S.响应速度1秒以内(T98)流量精度*1±1.0% S.P.以内[30～100% F.S.]/±0.3% F.S.以内[2～30% F.S.]直线性±0.5% F.S.以内重复稳定性±0.2% F.S.以内工作差压值*2

(适于SEC系列)50～300kPa(d) 10SLM:100～300kPa(d)150～300kPa(d) 50SLM:250～300kPa(d)工作差压值*2300kPa(d)耐　压1MPa(G)外部泄漏率5×10-12Pa・m3/s(He)以下密封方法金属封口使用环境温度5～50℃温度影响 Span0.08% F.S./℃流量设定信号模拟：0.1～5VDC/2～100%(输入阻抗1MΩ以上) 数字式：RS-422A(F-Net 通信协议)流量输出信号模拟：0～5VDC(最小负荷电阻2MΩ以上) 数字式：RS-422A(F-Net 通信协议)驱动电源+15VDC ±5% 150mA/-15VDC ±5% 200mA+15VDC ±5% 150mA/-15VDC ±5% 250mA标准接头1/4VCR类型 或者集成气体面板法兰标准附加功能快速启动功能*3、自动关闭功能*3、阀门电压功能*3 自动清零功能(SEC-V110DM)*3、零位调整开关