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可探测气体:
气体名称
化学式
范围
氨
NH3
0-100ppm
氢化砷
AsH3
0-0.2ppm
三氯化硼
BCl3
0-8.0ppm
三氟化硼
BF3
0-8.0ppm
三氟化硼(低浓度的)
BF3
0-2.0ppm
溴
Br2
0-0.4ppm
二氧化碳
CO2
0-2% vol
一氧化碳
CO
0-100ppm
氯
Cl2
0-2.0ppm
二氧化氯
ClO2
0-0.4ppm
三氟化氯
ClF3
0-0.4ppm
硼乙烷
B2H6
0-0.4ppm
二氯甲硅烷
H2SiCl2
0-8.0ppm
二氟甲烷
CH2F2
0-120ppm
乙硅烷
Si2H6
0-20ppm
氟
F2
0-4.0ppm
锗烷
GeH4
0-0.8ppm
六氟丁乙烯
C4F6
0-40ppm
氢(%爆炸下限(LEL))
H2
0-100% LEL
氢(ppm)
H2
0-1000ppm
溴化氢
HBr
0-8.0ppm
氯化氢
HCl
0-8.0ppm
氰化氢
HCN
0-20ppm
氟化氢
HF
0-12ppm
氟化氢(低浓度的)
HF
0-2.0ppm
硫化氢
H2S
0-40ppm
硫化氢(高浓度的)
H2S
0-100ppm
甲烷(%爆炸下限(LEL))
CH4
0-100% LEL
甲基氟
CH3F
0-60ppm
二氧化氮
NO2
0-12ppm
一氧化氮
NO
0-100ppm
三氟化氮
NF3
0-40ppm
八氟环戊烯
C5F8
0-40ppm
氧气能力&缺氧
O2
0-25% vol
臭氧
O3
0-0.4ppm
磷化氢
PH3
0-1.2ppm
氢氧化磷
POH3
0-0.4ppm
硅烷
SiH4
0-20ppm
硅烷(低浓度的)
SiH4
0-2.0ppm
二氧化硫
SO2
0-8.0ppm
六氟化硫
SF6
0-8000pm
四氟化硫
SF4
0-0.4ppm
正硅酸乙酯
TEOS
0-40ppm
六氟化钨
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0-12ppm
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0-2.0ppm
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0-20 ppm
3980.0
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