测量范围非常广，从 5×10-10 毫巴至大气压（3.8×10-10 托至大气压）
10-8 … 10-2 毫巴过程压力范围内 5% 的优良可重复性
皮拉尼联锁保护贝阿德-阿尔珀特系统在高压操作下单丝过早烧毁和过度污染
使用寿命长的氧化钇铱丝
备有可选的图形显示屏和现场总线接口
高真空皮拉尼自动调节，减少操作员干预
RoHS 合规
低真空和超高真空范围内的一般真空测量和控制
典型应用
对半导体过程和传输腔室的压力测量
工业镀膜
低真空和超高真空范围内的一般真空测量和控制
规格
类型
BPG400
测量范围（空气、O2、CO、N2）
mbar Torr
-10 … 1000 " selected="selected" value="mbar" style="font-size:14px;"> -10 … 750" value="Torr" style="font-size:14px;">5×10-10 … 1000
精度
10-8 … 10-2 毫巴
% of reading
±15
可重复性
10-8 … 10-2 毫巴
% of reading
5
除气 (1)
p < 7.2 × 10-6
mbar
electron bombardment, max. 3 min
压力，最大
bar (absolute)
2
温度
运行（环境）
°C
0 … +50
贮存
°C
-20 … +70
在法兰处烘烤，有延伸件
°C
150
在法兰处烘烤，无延伸件
°C
80
移除烘烤电子设备
°C
150
电源电压
V (dc) A (dc)
+20 … +28
输出信号模拟
输出信号
V
0 … +10
测量范围
V
+0.774 … +10
电压与压强
volts per decade
0.75
错误信号
V
0.3 / 0.5
最小负载电阻
kΩ
10
接口（数字）(2)
RS232C
电气连接
D-Sub, 15-pin, male
电缆长度，最大 (3)
m (ft.)
100 (330)
暴露于真空的材料
2O3, Ir, Pt, Mo, Cu, W, NiFe, NiCr, stainless steel, glass" selected="selected" value="" style="font-size:14px;">Yt2O3, Ir, Pt, Mo, Cu, W, NiFe, NiCr, stainless steel, glass
内部容积 KF / CF
cm3 (in.3)
24 (1.46) / 34 (2.1)
重量 KF / CF
g
285 / 550
保护等级
IP30
Profibus DP
波特率
kBaud Mbaud
9.6 / 19.2 / 93.75 / 187.5 / 500
地址
2 switches (address 00 - 127) or network programmable
数字功能
read pressure, select units: Torr, mbar, Pa; degas function, Pirani full scale adjust, monitor gauge status, safe state allows definition of behavior in case of error, detailed alarm and warning information
模拟功能
0 … 10 V analog output pressure indication, two setpoint relays A + B
设定点继电器： 设定点数量
2
设定点继电器： 范围
mbar
-9 … 100" selected="selected" value="mbar" style="font-size:14px;">1×10-9 … 100
设定点继电器： 继电器触点
n.o., potential free
设定点继电器： 滞后
% of reading
10
设定点继电器： 触点额定值
V (dc) A (dc)
60
Profibus DP 连接器
D-Sub, 9-pin, female
BPG（模拟输出、电源电压、设定点）连接器
D-Sub, 15-pin, male
DeviceNet™
协议
DeviceNet™, group 2 slave only
数据率开关
kBaud
125, 250, 500 or network programmable
电缆长度 125 kbps
m (ft.)
500 (1650)
电缆长度 250 kbps
m (ft.)
250 (825)
电缆长度 500 kbps
m (ft.)
100 (330)
MAC ID
2 switches (address 00 - 63) or network programmable
数字功能
read pressure, select units: Torr, mbar, Pa; degas function, Pirani full scale adjust, monitor gauge status, safe state allows definition of behavior in case of error, detailed alarm and warning information
模拟功能
0 … 10 V analog output pressure indication, two setpoint relays A + B
技术规格
DeviceNet™ "Vacuum Gauge Device Profile"
设备类型
''CG'' for combination gauge
I / O 从属传讯
polling only
设定点继电器： 设定点数量
2
设定点继电器： 范围
mbar
-9 … 100" selected="selected" value="mbar" style="font-size:14px;">1×10-9 … 100
设定点继电器： 继电器触点
n.o., potential free
设定点继电器： 滞后
% of reading
10
设定点继电器： 触点额定值
V (dc) A (dc)
60
DeviceNet™ 电源电压
V (dc) A (dc)
+11 … +25
真空计电源电压
V (dc) A (dc)
+20 … +28
DeviceNet™ 连接器
Microstyle, 5-pin
BPG（模拟输出、电源电压、设定点）连接器
D-Sub, 15-pin, male
1) 除气期间降低精度
2) 同时使用 RS232C 或 VGC40x 控制器系列，不允许使用现场总线
3) 适用于 RS232C 运行 <30m
BPG400
零件号
明细
BPG400规管
353-500
BPG400 规管
353-500-11
BPG400 BA Pirani Gauge; DN 25 ISO-KF
353-500-I0
BPG400规管
354-498
Spare electronic BPG400 without Display
354-499
Spare electronic BPG400 with Display
353-501
BPG400 规管
353-502
BPG400 规管
353-503
BPG400 BA Pirani Gauge; DN 40 CF-R
353-505
复合真空规
353-506
BPG400-SP BA Pirani Gauge; DN 40 CF-R
353-507
BPG400-SD BA Pirani Gauge; DN25ISO-KF
353-508
BPG400-SD BA Pirani Gauge; DN 40 CF-R
附件
BPG400
零件号
明细
353-510
100 mm sensor extension tube
353-511
BPG400 24V电源
353-512
Baffle for BPG400
211-113
中心圈 with baffle DN 25 KF
备件
BPG400
零件号
明细
354-490
BPG400 备用传感器
354-491
BPG400 备用传感器
