英福康石英晶控探头种类繁多，适用于不同要求，不同工艺以及跟用户的设计安装亦相关。

1  水平型1寸螺柱法兰。

2. 垂直型1寸螺柱法兰

3.  水平型CF40螺柱法兰

4    垂直型CF40螺柱法兰

提供两种探头配置:  标准型和紧凑型。标准型用于从真空室的侧面或底部安装，冷却管与晶片是平行的。紧凑型用于从真空系统的顶部安装，冷却管与晶片是垂直的。可选购探头带有气动晶体挡板，用于在源加热升温的过程中，交替材料沉积或未使用晶体时，或为延长晶体寿命使用 RateWatcher™ 时保护晶体。为便于更换晶体，挡板采用下拉式结构。为有效地消除 RF 干扰的问题，暴露的晶体电极是妥善接地的。
 
前载式单探头法兰 
INFICON 提供两种法兰的可选型号: 1"  螺丝法兰或 2 ¾" (CF40) ConFlat®法兰。可按用户要求提供 KF40 法兰。
 
前载式单探头法兰连接 
前载式单探头可订购带法兰的组合型。探头 /  法兰连接可采用焊接或直口接头。直口接头易调整，无钎焊或焊接的要求。法兰可沿管长移动，对于 "E"  长度探头，真空系统内的长度可在 20.3  厘米至 71.1  厘米 (8"- 28")  的范围内调整，对于 "G" 长度探头，可在 20.3  厘米至 121.9 厘米 (8"- 48")  的范围内调整.  一旦确定所需的长度,  直口接头可用手指拧紧的管密封件。 或者，可选焊接连接.  如需焊接连接,  必须在订购前填写 INFICON  提供的一个探头长度规格表。  

Front Load石英晶体传感器探头

INFICON还推出了最新的ALD探头，最高工作温度可达450度。

INFICON 前装式单晶体传感器拥有经实践检验的可靠性和耐用性，提供卓越的热稳定性。前装式设计允许在侧面插入空间不足的应用中轻松插入晶体支架。经机械装配而成，而不是焊接在一起，因此，您能够在现场方便地更换其部件（如有必要）。传感器可单独订购，或以传感器/馈入件组合的形式订购，该组合可焊接在一起，或通过压缩接头装配在一起。

功能

• 前装式晶体支架
• 易于安装
• 随附 2.54 cm (1 in.) 螺栓馈入件 / CF40 馈入件
• 在配有压缩接头时可调长度
• 焊接为客户指定长度的传感器/馈入件组合
• 在配有压缩接头或焊接到馈入件时无需铜焊