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压电陶瓷定位平台、压电陶瓷纳米平台NM-XY-100X、压电促动器、压电陶瓷驱动器、压电压电陶瓷定位平台
NM-XY-100X压电陶瓷定位平台是一个集成了电容传感器的微动平台。由Super Invar(特殊钢材)制成,高于纳米级分辨率和重复性。
NM-XY-100X压电陶瓷定位平台概述
NM-XY-100X是一个集成了电容传感器的微动平台。高于纳米级的分辨率与重复性对弯曲机械装置的有限分析可以在100微米的范围内降低伴生角度的移动到25微弧度以内是一个集成了电容传感器的微动平台。有高于纳米级的分辨率和重复性。
特殊钢材的外壳(CTE 0.3ppm K-1, c.f. Al at 23ppm K-1)可以将温漂降低到最小,在纳米级是非常重要的。这种外壳拥有优秀的力学平衡设计。
NM-XY-100X压电陶瓷定位平台应用领域
◆高精度显微镜;
推荐NM-XY-100X压电陶瓷定位平台控制器
NM3220/NM-XY-100X压电陶瓷定位平台主要特点
◆>100微米运动范围,高于纳米级分辨率;
◆振荡频率>350HZ;
◆0.005%磁滞、线性度;
◆高带宽(>50Hz)响应时间短;
◆现场扫描最优化;
◆需要与NPS-Z-15A或NPS-Z-15H组成三轴系统;
◆NM-XY-100A为特殊钢材外壳;NM-XY-100B为铝质外壳;
小型激光测距模块ZDM/M 应用于手持GPS定位
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NM-XY-100X
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