可调电容传感器

　　可调电容位移传感器：该传感器是一种非接触式的电容位移传感器；两个传感器板形成一个平行板电容器，每个传感器可以用在两个不同的测量范围；纳米分辨率；零磁滞。

　　传感器型号：ZNXB（举例）

　　小量程μm：20

　　灵敏度μmV：2

　　噪音nm rmsHz-1/2：<0.001

　　温漂nm/K：1

　　线性度%：<0.08

　　大量程μm：100

　　灵敏度μm/V：10

　　噪音nm rms Hz-1/2：<0.015

　　温漂nm/K：4.4

　　线性度%：<0.08

　　工作温度：+10～+50℃（控制器）；-273～+80℃（探头）

　　存储温度：0～+70℃

　　相对湿度：5～95%（无冷凝）

　　频响Hz：50/500/5000

　　可调电容位移传感器主要特点

　　◆量程20～1250μm；

　　◆分辨率<0.1nm；零磁滞；

　　◆线性最高0.02%；

　　◆频带可调：50～5000Hz；灵敏度可调；

　　◆真空兼容选项；

　　可调电容位移传感器工作示意图

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