扩散炉热电偶

扩散炉热电偶：

半导体专用测温仪表扩散炉热电偶分为：多晶铸锭炉热偶、扩散炉专用热电偶、铸锭炉热电偶、profile TC、Paddle TC、Spike TC多点式扩散炉热电偶等，各种产品形态不一，大小与结构也尽不相同。做为高精度扩散炉热电偶来说，为各大光伏产业带来了许多帮助。该产品为了生产加工PECVD的隔离导电性，外表的绝缘采用透明高纯度石英管或高纯度99%刚玉管制造而成，采用多个点位精确测量，也有用户采用多点测量法计算出炉内的平均值从而获得应有的数据。

温度测量在0~1800℃中使用，测量点分为单点和多点，最高点可达8个点的测量，精度符合国际标准，工业等级I级，1500度误差2℃不到，精度相当高，完全代替进口产品。扩散炉热电偶用于光伏产业、半导体的开发与研制、科研领域、军工单位、进口设备（如：Centrotherm扩散炉设备、ALD真空感应炉、GT Solar 的 DSS 炉等）、烧结炉、退火炉、真空炉、氧化炉、扩散炉等，可溶化多晶硅、生长多晶硅锭、单晶硅、非晶硅、无定形硅和玻璃等工艺测温。

技术参数：
1、符合IEC584 GB/T18404-2001标准

2、精度等级：CLASS-A:0.25% ；CLASS-B:0.5%

3、Spike TC是用来测量与控制炉管外的各点温度

4、profile TC与Paddle TC是用来测量与控制炉管内各点温度

5、与spike和profile配套使用，可自动切换方式进行控温

6、寿命长、精度高、稳定性好、交货期短、可完全代替进口

7、扩散炉热电偶总长含头1750mm。（5点长：1700、1530、1200、870、700）

扩散炉热电偶产品选型：

扩散炉炉外热电偶（可带螺纹、法兰、裸露式）：

NAME	Spike TC (group ：1、2)
TYPE	SKFN-Spike TC	SKFN-Spike TC	SKFN-Spike TC	SKFN-Spike TC
GRADUATION	B-type	S-type	R-type	K-type
QUALITY	刚玉管、陶瓷管、石英管、钼管
SPEC	Φ2.0、Φ2.5、Φ3.0、Φ3.2、Φ4.0、Φ5.0 mm
RANGE	0~1800℃	0~1600℃	0~1600℃	0~1300℃
SENSITIVITY	5s≤	5s≤	8s≤	10s≤
THERMAL ERROR	1.0℃	1.2℃	1.5℃	2.0℃
USE	真空炉、氧化炉、扩散炉
FIRM NAME	铂铑热电偶、扩散炉热电偶、专用热电偶

扩散炉炉内热电偶（炉内、炉外）：

NAME	profile TC (point ：1、3、5、8）
TYPE	SKFN-profile TC1、SKFN-profile TC3、SKFN-profile TC5、SKFN-profile TC8
GRADUATION	B-type	S-type	R-type	K-type
QUALITY	刚玉管、陶瓷管、石英管、钼管、钨管
SPEC	Φ2.0、Φ2.5、Φ3.0、Φ3.2、Φ4.0、Φ5.0、Φ6.0、Φ8.0、Φ10.0mm
RANGE	0~1800℃	0~1600℃	0~1600℃	0~1300℃
SENSITIVITY	5s≤	5s≤	8s≤	10s≤
THERMAL ERROR	1.0℃	1.2℃	1.5℃	2.0℃
USE	烧结炉、退火炉、真空炉、氧化炉、扩散炉
FIRM NAME	石英热电偶、多点热电偶、扩散炉热电偶、贵金属铂铑热电偶

扩散炉炉内外热电偶（铠装式、炉内、炉外、可弯曲）：

NAME	Paddle Tc
TYPE	SKFN-Paddle Tc
GRADUATION	B-type	S-type	R-type	K-type
QUALITY	GH3039、GH3030
SPEC	Φ2.0、Φ2.5、Φ3.0、Φ3.2、Φ4.0、Φ5.0、Φ6.0、Φ8.0、Φ10.0mm
RANGE	0~1300℃
SENSITIVITY	5s≤	5s≤	5s≤	6s≤
THERMAL ERROR	1.0℃	1.2℃	1.5℃	2.0℃
USE	真空炉、氧化炉、扩散炉
FIRM NAME	铠装铂铑热电偶、扩散炉热电偶、微细铠装铂铑热电偶

型号/规格

扩散炉热电偶

品牌/商标

SOKE FEENEY/索克菲尼

供应扩散炉热电偶